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全自动GC/R
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全自动GC/R

SFC3000Plus型全自动GC/R为本公司21世纪初期最新研发之新型气瓶柜/架,以OMRON PLC为控制主体,PROFACE触摸屏为操作界面,针对不同性质气体搭配不同的盘面设计,可以满足SEMI、LED、TFT、SUN SOLAR等各产业界之不同需求。SFC3000全系列产品均已通过半导体行业的SEMI-S2安全认证以及电子产品之CE认证。

基本功能:
1、可设定的5级密码权限
2、自动吹扫,自动切换
3、手动吹扫及操作阀门
4、操作及报警历史纪录
5、供气和报警参数设置
6、设备运行状态输出
7、紧急切断开关EMO
8、高温自动喷淋系统

可选功能:
1、UV/IR SENSOR (易燃性气体)
2、磅秤 (液态气体)
3、Vavle Shutter (危险气体)
4、Auto Guard (危险气体)
5、钢瓶加热夹克 (低压气体)
6、盘面管路加热 (低压气体)
7、2-Stage Regulator(B2H6)
8、Exaust Alarm (所有气体)
9、Z-Purge Alarm (所有气体)
10、以太网远程通讯 (所有气体)


附属设施:
1、外观 750(W) X 550(D) X 2,300(H)
2、电源 220VAC 3A
3、供气管路 316L EP 1/4 VCR
4、吹扫管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)
5、保压管路 316L EP 1/4 VCR 1000PSI PN2(999.99%
6、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN2
7、排放管路 316 BA 1/2 VCR
8、气动气源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA
9、消防水源 1/2 NPT 30-40PSI
10、排风 6'' 风压 200Pa




   
 
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